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Categories: Stick-Slip位移台, 微纳位移控制, 微纳位移控制及光机
CLS系列直线纳米位移台-可更换摩擦元件EDU设计
CLS-32系列直线纳米位移台
型号 |
行程 |
尺寸 |
重量 |
CLS-3232 |
21 mm |
32 x 32 x11 mm3 |
33 g |
CLS-3252 |
31 mm |
32 x 52 x 11 mm3 |
54 g |
CLS-3282 |
51 mm |
32 x 82 x 11 mm3 |
87 g |
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直负载:3kg
- Z向使用举力>1.5N
CLS-52系列直线纳米位移台
型号 |
行程 |
尺寸 |
重量 |
CLS-5252 |
31 mm |
52 x 52 x 14 mm3 |
94 g |
CLS-5282 |
51 mm |
52 x 82 x 14 mm3 |
157 g |
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直负载:2kg
- Z向使用举力>1N
CLS-92系列直线纳米位移台
型号 |
行程 |
尺寸 |
重量 |
CLS-9292 |
63 mm |
92 x 92 x 17 mm3 |
357 g |
CLS-92152 |
103 mm |
92 x 152 x 17 mm3 |
591 g |
其他参数及选项
- 开环控制
- 闭环控制
- 分辨率(MCS2控制器):1nm(-S), 4nm(-L)
- 双向全行程重复精度(MCS2控制器):±50nm(-S), ±100nm(-L)
- 分辨率(SCU控制器):4nm(-L)
- 全行程重复精度(SCU控制器):±1000nm(-L)
- 材质选项:标准铝座材质,钛座材质(-TI)
- 真空兼容性:-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
- 无磁选项:-NM
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